半導體裝置

半導體裝置指在半導體製造廠生產製造過程中的裝置。主要包括集成電路裝置、太陽能光電裝置、LED裝置和離散元件裝置。

集成電路裝置

集成電路晶圓生產裝置關鍵部件進口額占裝置銷售額的30%～40%。例如，干泵、分子泵、機械手 （潔淨、真空）、高溫加熱裝置 （溫控器）、射頻電源、真空閥門等。

太陽能光電裝置

• PRCE晶矽太陽能電池片生產線裝置
• 全自動、智能化、大產能單晶矽生長和切片裝置

中國大陸市場

在 2019年，中國半導體裝置繼續保持快速增長，根據中國電子專用裝置工業協會對國內47家規模以上 （半導體裝置年銷售收入 500 萬元以上） 半導體裝置製造商 2019 年完成的主要經濟指標統計顯示：半導體裝置銷售收入完成 161.82 億元，同比增長 30％；半導體裝置出口交貨值完成 16.35 億元，同比增長2.6%；半導體裝置製造商實現總利潤（含所有產品） 27.13 億元，同比增長 26.7%。此外，2016年—2019 年中國半導體裝置製造商銷售收入年均增長41.3％，實現總利潤年均增長23.5％，出口交貨值年均增長27.8％。