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氟硅酸盐,又称六氟合硅酸盐,是氟硅酸和阳离子形成的盐,它们受热易分解,且大部分可溶于水(钡、钾、钠、铈盐的溶解性较差)。[1]
氟硅酸盐可由氟硅酸和金属或其碳酸盐反应制备:[2]