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氟矽酸鹽,又稱六氟合矽酸鹽,是氟矽酸和陽離子形成的鹽,它們受熱易分解,且大部分可溶於水(鋇、鉀、鈉、鈰鹽的溶解性較差)。[1]
氟矽酸鹽可由氟矽酸和金屬或其碳酸鹽反應製備:[2]